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高精度线轨运动台

发布:武汉市夏睿琪科技有限公司 来源:http://www.whyunpeng.com/ 时间:2024-01-22

高精度线轨运动台

产品介绍:

十字叠层高精度线轨运动台,满足高速、高加速、高精度的产品定制需求,适用于OLED加工、玻璃板切割、激光加工、屏幕检测、CCD成像、晶圆检测、三维形貌等制造行业。

产品特性:

工作台采用十字叠层线轨结构形式,满足XY两个自由度的运动;

亚微米级重复定位精度;

最大速度1000mm/s,最大加速度1g;

单轴直线度可达±1.5μm,运动平面度可达±2.0μm;

X、Y两轴正交性可达±2.0μm;

直线电机驱动,光栅尺编码反馈。

高精度线轨运动台

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