发布:武汉市夏睿琪科技有限公司 来源:http://www.whyunpeng.com/ 时间:2024-01-23
产品介绍:
满足高速高精度产品的定制需求,适用于光刻,薄片检测,CCD成像,三维成像等。
产品特性:
交叉滚珠导轨,低摩擦,高刚性,可做很高定位精度直线电机驱动,光栅尺编码反馈;
1nm分辨率光栅:
XY亚微米级重复定位精度,重复定位精度可达0.1um速度均匀性佳,100mm/s速度波动可达正负千分之一:纳米级定位抖动,100ms内可收敛到20nm以内;
速度200mm/s,加速度0.5g;
微米级直线度与平面度,单轴直线度可达士1.5m,运动平面度可达+1.5um:OX、Y两轴正交性可达5arc sec。
高精度直线导轨:高刚性基台配合进口高刚性直线导轨,可保证产品长期稳定的精度,同时专业的技术团队和检测设备可将直线导轨的性能发挥到完全。
本机构具备较高的定位精度,台体的物理形位公差做到了理想化范围,确保运动时的准确性。
模块化线缆管理:模块化的线缆管理大大提高系统的维护性和可靠性,方便用户管理线缆。
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