产品介绍：

满足高速高精度产品的定制需求，适用于光刻，薄片检测，CCD成像，三维成像等。

产品特性：

交叉滚珠导轨，低摩擦，高刚性，可做很高定位精度直线电机驱动，光栅尺编码反馈；

1nm分辨率光栅：

XY亚微米级重复定位精度，重复定位精度可达0.1um速度均匀性佳，100mm/s速度波动可达正负千分之一：纳米级定位抖动，100ms内可收敛到20nm以内；

速度200mm/s，加速度0.5g；

微米级直线度与平面度，单轴直线度可达士1.5m，运动平面度可达+1.5um:OX、Y两轴正交性可达5arc sec。

高精度直线导轨：高刚性基台配合进口高刚性直线导轨，可保证产品长期稳定的精度，同时专业的技术团队和检测设备可将直线导轨的性能发挥到完全。

本机构具备较高的定位精度，台体的物理形位公差做到了理想化范围，确保运动时的准确性。

模块化线缆管理：模块化的线缆管理大大提高系统的维护性和可靠性，方便用户管理线缆。